?電子顯微鏡(Electron Microscope)是一種利用電子束替代可見光進行高分辨率成像的精密儀器,主要分為以下兩大類:
1. 掃描電子顯微鏡(SEM, Scanning Electron Microscope)
原理:通過聚焦的電子束掃描樣品表面,接收反射的電子信號(如二次電子、背散射電子)生成圖像。
特點:
分辨率高(可達0.4納米),但通常用于觀察表面形貌。
景深大,成像立體感強。
適合觀察大塊樣品(無需超薄切片)。
應用領域:
材料科學(金屬、陶瓷、半導體表面分析)。
生物學(昆蟲、植物表面結構)。
納米技術(納米顆粒、薄膜形貌)。
2. 透射電子顯微鏡(TEM, Transmission Electron Microscope)
原理:電子束穿透超薄樣品(厚度<100納米),通過透射電子和衍射信號成像。
特點:
分辨率更高(可達0.05納米),可觀察原子級結構。
需樣品極?。ㄐ鑿碗s制樣,如超薄切片或離子減薄)。
可分析晶體結構、化學成分(結合EDS或EELS附件)。
應用領域:
材料科學(晶體缺陷、原子排列)。
生物學(細胞超微結構、病毒顆粒)。
化學(納米材料原子級表征)。
其他衍生類型
掃描透射電鏡(STEM):結合SEM和TEM功能,適合原子級元素分析。
環境掃描電鏡(ESEM):允許樣品在低真空或濕潤環境中觀察(如生物活體)。
聚焦離子束電鏡(FIB-SEM):結合離子束切割和SEM成像,用于三維重構或微加工。