產品概述
高性能一體機 ;1000mm/s掃描速度，8m/s掃描加速度。典型應用場景的掃描效率達到35秒/件，為S100機型的X倍。為大批量中小尺寸工件的快速全檢，提供了高性能的解決方案。采用整體焊接框架、主動平衡減振機構，有效降低高加速度引起的機體晃動，提高成像質量。
主要配置：
1、龍門式高速直線電機掃描運動臺；
2、主動平衡減震系統；
3、整體焊接框架，提高穩定性；
4、全封閉防護；
5、萬能夾具、一鍵校準、遠程協助；
6、自動上下水及水循環凈化系統。
應用領域
精密器件、半導體、集成電路和金剛石等行業高速全檢，適用于理化試驗室或車間現場。
產品參數：
工作電源 | 220V/50Hz，3KW |
最大掃描范圍 | 500mm;330mm;100mm |
圖像推薦分辨率 | 0.5um ~ 4000um |
整機尺寸 | 1250*850*1300（mm）（標配） |
探頭頻率范圍 | 1~50MHz；（標配，可升級至230MHz） |
典型掃描耗時 | 35s |
掃描區域 | 10mmX10mm |
分辨率 | 50um |
最大掃描速度 | 1000mm/s |
最大掃描加速度 | 8m/s |
運動臺定位精度 | X/Y向<0.5um Z向<10um |
重復定位精度 | X/Y向<0.01mm，Z向<0.02mm |
采樣頻率 | 25~250MHz（標配,可升級至1.5GHz） |
每通道可調增益 | -13~66dB;（標配，可升級） |
脈沖重復頻率 | 5kHz；（標配，可升級） |
